| 装置名 | イメージングX線光電子分光分析装置（XPS） |
|---|---|
| 品名・型番 | AXIS NOVA |
| 製造 | 島津製作所 KRATOS |
| 装置仕様： | 単色化X線源（AlKα最大600W）、帯電中和機構、多原子イオン用エッチングイオン銃を備え、パラレルイメージングおよび微小部分析に対応。 |
| 装置特徴： | レンズ同軸型均一帯電中和機構、全自動試料ハンドリング機構、ディレイラインディテクターなどを装備した自動イメージングXPS分析装置。多原子イオン用イオン銃を装備。 |
詳細
| X線源 | ハイパワーAｌモノクロメータ |
|---|---|
| エネルギーアナライザ | 180°静電半球アナライザー、球面鏡アナライザー |
| 検出器 | MCPおよびDLDシステム |
| 中和機構 | レンズ同軸型低エネルギー電子給与システム |
| 試料プラテン | 110ｍｍ径、ARXPS、ローテーションプラテン |
| イオン銃 | アルゴンおよび多芳香族を線源 |
| 分析面積 | 最小スペクトル面積：15μｍφ |
| 分解能 | イメージング分解能は3μｍ |
分析料金 (分析サービスは現在行っておりません)
| 学内料金： | 分析サービスは現在行っておりません |
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| 外部料金： | 分析サービスは現在行っておりません |
