低炭素研究ネットワーク|国立大学法人 群馬大学

群馬大学

イメージングX線光電子分光分析装置(XPS)

装置名 イメージングX線光電子分光分析装置(XPS)
品名・型番 AXIS NOVA
製造 島津製作所 KRATOS
装置仕様: 単色化X線源(AlKα最大600W)、帯電中和機構、多原子イオン用エッチングイオン銃を備え、パラレルイメージングおよび微小部分析に対応。
装置特徴: レンズ同軸型均一帯電中和機構、全自動試料ハンドリング機構、ディレイラインディテクターなどを装備した自動イメージングXPS分析装置。多原子イオン用イオン銃を装備。

詳細

X線源 ハイパワーAlモノクロメータ
エネルギーアナライザ 180°静電半球アナライザー、球面鏡アナライザー
検出器 MCPおよびDLDシステム
中和機構 レンズ同軸型低エネルギー電子給与システム
試料プラテン 110mm径、ARXPS、ローテーションプラテン
イオン銃 アルゴンおよび多芳香族を線源
分析面積 最小スペクトル面積:15μmφ
分解能 イメージング分解能は3μm

装置利用料金

学内利用料金: 1日当たり:検討中、1時間当たり:1,000円
外部利用料金: 1日当たり:検討中、1時間当たり:検討中
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