| 装置名 | 走査型分析電子顕微鏡(SEM-EDX） |
|---|---|
| 品名・型番 | SEM S3000N，EDX-EX200 |
| 製造 | 日立製作所、堀場製作所 |
| 装置仕様： | 低真空走査型電子顕微鏡（低真空範囲1～270Pa)＋エネルギー分散型Ｘ線分析装置(Ｓｉ／Ｌi半導体Ｘ線検出器）。 クールステージ（ペルチェモジュール：冷却範囲10～-20℃） |
| 装置特徴： | 2次電子検出器と反射電子検出器を装備し、多彩な画像の測定ができる。低真空（N）モードでは、含水試料も絶縁体も無処理で観察できる。 多元素同時分析、データベース検索、およびマッピング機能搭載。 |
SEM
| 倍率 | x10～ｘ300,000（65段） |
|---|---|
| 分解能 | 二次電子像： 3.0nm（高真空モード）、反射電子像：4.5nm（低真空モード） |
| 加速電圧 | 0.3～30KV |
EDX
| 検出元素 | ホウ素（B,Z=5)～ウラン（U,Z=92) |
|---|---|
| 分解能 | 138eV |
| 素子面積 | 10mm2 |
装置利用料金
| 学内利用料金： | 1日当たり：検討中 1時間当たり：500円 |
|---|---|
| 外部利用料金： | 1日当たり：検討中 1時間当たり：検討中 |
